Triklorsilan

Triklorsilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) är en färglös, mycket flyktig vätska med en skarp, kvävande vätekloridlukt. Den kokar vid 31,8 grader och reagerar häftigt med fukt och är nyckelråvaran för Siemens-processen för att producera polykisel med hög -renhet för fotovoltaiska solceller och halvledarwafers. TCS används också i stor utsträckning i kiselepitaxial wafertillväxt, organosilikonsyntes (silikonoljor, gummin, hartser, kopplingsmedel), CVD-kiseltunnfilmsavsättning och som ett selektivt reduktionsmedel i organisk syntes. Finns i industriell kvalitet (större än eller lika med 99,0%) och elektronisk kvalitet (upp till 9N renhet). Klassad som vattenreaktiv och mycket brandfarlig (UN 1295, klass 4.3+2.3, PG I) med ett extremt brett explosivområde på 1,2 %–90,5 %; hantera endast under strikt vattenfria förhållanden med torrt kväveskydd.